SEM坂本操作开关

　　１．MEMS傾斜角センサーの開発
             （MEMS=Micro Electro Mechanical System）
　　　・MEMSとは一般的に機械要素部品、センサー、 アクチュエータ、電子回路を
　　　  一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に集積 化したデバイ
        スのこと。
　　　・北九州市若松区響の早稲田大学大学院情報生産システム研究科植田研究室
        と共同開発中。 


　　２．高感度傾斜角センサー（１軸仕様）
　　　　●　水晶MEMSセンサ
　　　　●　超小型・薄型
　　　　●　高耐振・高耐衝撃性（セラミックパッケージ）
　　　　●　機械的磨耗なし
　　３．動作原理
　　　　静電容量の変化を角度情報に変換

　　４．MEMSセンサーの用途

　　　　(1)姿勢制御ニーズが存在するあらゆる産業機器の傾斜制御用途に展開

　　　　　　クレーン、小口径トンネル掘削、ﾛﾎﾞｯﾄの姿勢制御など多数

　　　　(2)半導体製造装置

　　　　(3)工作機械

　　　　(4)地滑り監視傾斜計測、火山の山体膨張傾斜計測

　　　　(5)その他