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科赋乐密封流量控制器KOFLOC金属质量控制器5100
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发布时间：2022/4/18 10:12:52 来源:上多川 浏览次数:1456 返回前页
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科赋乐密封流量控制器KOFLOC金属质量控制器5100
5100系列是一款质量流量控制器，它实现了无焊接结构（VCR规格），金属密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的±1％精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率，可以处理1 sccm（N2）的微流量。
通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度，高速传感器响应
采用电磁铁电磁阀常闭阀
由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
采用隔膜阀，减少死体积
面对面，体型和接线连接与其他公司的更换兼容
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粤公网安备 44011302000720号