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筑波精工TSUKUBASEIKO静电吸盘Supporterシステム
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筑波精工株式会社
Supporterシステム
静電チャックの常識を打ち破る 給電ユニットなしで吸着維持可能なキャリアタイプ
半導体の製造プロセスに革命をもたらします。
Supporterは、強度のある基材の両⾯に特殊な素材を挟みこみ⼀体形成した静電チャックで、半導体製造⼯程でウェハをサポートするために使⽤する治具（キャリア）として利⽤します。
筑波精⼯の既存の静電チャックが持つ特⾊に加え、給電ユニットから分離しても吸着⼒を維持する特⾊を備えています。
給電ユニットを⽤いて⼀度電界をかけると保持⼒は半永久的に維持され、対象物を「Supporter」から分離する際にはもう⼀度給電ユニットを⽤いて電界を解除すれば、いつでも「Supporter」と対象物を分離することができます。
打破有关静电吸盘的传统观念这
将彻底改变载流子型半导体的制造工艺，无需电源装置即可通过吸力进行吸附。
支撑器是在坚固的基材两侧夹入特殊材料而制成的静电吸盘，在半导体制造过程中用作支撑晶圆的夹具（载体）。
除了筑波精工现有静电吸盘的特点外，它还具有即使与电源装置分离也能保持吸力的特点。
一旦使用电源装置施加电场，保持力将半永久地保持，并且如果将物体与“支撑体”分离，则可以再次使用电源装置释放电场，并且“支持者”可以随时使用，并且可以将对象分开。
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