ISEL 艾塞路滚针电动缸

滚针电动缸实现刚性1µm

采用高精度的宽幅滚针，刚性比原来的滚珠类型提高了10倍以上 。

接触面积的比较

滚针电动缸接触面积大 ，刚性高

侧压刚性弯曲比较

滚针导柱采用事例

滚针导柱 ，由于其高刚性在下面这些地方也被广泛使用。

电机定子铁芯的冲切模具

TAB胶带冲切模具

精密电动缸的送给精度 1µm

使用高精度的宽幅型的滚针、保持刚性的同时成功实现了低负荷。 因此滚动阻力被抑制到极限 ，达到了１µm进给精度 。

利用这个高进给精度 、在曝光机的镜头・镜片・平台的高精度定位上面 精密电动缸被广泛使用。

滚针式的优点

滚珠循环式的场合

滚珠之间相互接触、碰撞而产生的摩擦，造成磨损、脏污、发热等。另外，循环时负荷的加压、减压反复发生 ，非常容易造成振动。

滚针导柱（滚针）的场合

滚针之间相互不接触 ，不会发生转动体的接触、碰撞、摩擦 。另外，因为是非循环、低负荷，不会造成加压时冲击、振动也减少 。能够实现顺畅、微小的送给 。

超低振动支撑着高进给精度

和滚珠类型相比，滚针导柱到达１/２０以下的低振动！

响应速度支撑着１µm的进给精度

将滚动阻力控制到极限、把０．１µm为1単位 的微小进给量变成可能 ，实现了卓越的响应速度。

滚动电动缸的直线性 1µm

实现了高刚性、低振动的滚针导柱具有良好直线性、特别是重复定位精度比原来提高 ３倍以上 。利用这个特性、应用于微细的PCB基板开孔、半导体的组装等， 在精密半导体领域被广泛使用。

X Y轴方向 重复定位精度比较

振动大、刚性低的滚珠导柱的话，位置精度偏差大 不稳定、 精密电动缸的话，振动小并且到达很好的重复定位精度 ！

X Y Z轴全方向 重复定位精度比较

高精度滚针导柱和滚珠丝杠的配套组合， 精密电动缸的重复定位精度实现了 X Y Z全方向±1.0um！

采用滚针电动缸的优点

1. 超高精度化

成功实现了以前不可能达到的1.um单位高精度定位，提高了产品精度！

2. 节省空间

简易构造，节省空间 ！

3. 减少工时

一体化构造 ，缩短客户设计时间 ！安装简单 ，缩短组装时间 ！

本体外侧上装备有自动开关 。调整开关调整很容易 ，节省空间 。

有带电机和不带电机两种类型 。客户可指定电机 。 
→结合客户的控制样式、要求等，也可代为选定电机。

用途

分段曝光机等各种光学仪器的镜头・镜片移动、微小的角度调整

定位台的Ｘ·Ｙ·θ軸的调整

相机·感应器的位置调整

显微镜・望远镜的镜头·镜片调整

平台（Ｘ・Ｙ・Ｚ）的定位

半导体・液晶制造装置

各种自动机・实验装置 等